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J-GLOBAL ID：201002222040178762   整理番号：10A0618780

高速で堆積した微結晶シリコン太陽電池に及ぼす第二気相反応の影響

Impact of secondary gas-phase reactions on microcrystalline silicon solar cells deposited at high rate

著者 (7件)： PARASCANDOLO G. (Photovoltaics and Thin Film Electronics Lab., Inst. of Microengineering (IMT), Ecole Polytechnique Federale de ...) ,  BARTLOME R. (Photovoltaics and Thin Film Electronics Lab., Inst. of Microengineering (IMT), Ecole Polytechnique Federale de ...) ,  BUGNON G. (Photovoltaics and Thin Film Electronics Lab., Inst. of Microengineering (IMT), Ecole Polytechnique Federale de ...) ,  SOEDERSTROEM T. (Photovoltaics and Thin Film Electronics Lab., Inst. of Microengineering (IMT), Ecole Polytechnique Federale de ...) ,  STRAHM B. (Photovoltaics and Thin Film Electronics Lab., Inst. of Microengineering (IMT), Ecole Polytechnique Federale de ...) ,  FELTRIN A. (Photovoltaics and Thin Film Electronics Lab., Inst. of Microengineering (IMT), Ecole Polytechnique Federale de ...) ,  BALLIF C. (Photovoltaics and Thin Film Electronics Lab., Inst. of Microengineering (IMT), Ecole Polytechnique Federale de ...)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 96  号： 23  ページ： 233508  発行年： 2010年06月07日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微結晶シリコンのプラズマ化学蒸着中における第二気相反応の役割は,議論の余地ある課題である。本論文において,このような反応の増倍が一定の高速で堆積した吸収体層の材料特性の改善に関係していることを示した。赤外レーザ吸収分光,レーザ光散乱,及び発光分光により,第二気相反応の生成物である粉末を検出した。粉末形成が増加するにつれ,素子性能の系統的改善を測定した。これは,第二気相反応が,高速で堆積した微結晶シリコンの材料品質にとって有害ではないことを実証していた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *太陽電池 ,  プラズマCVD ,  *気相反応 ,  吸収体 ,  レーザ分光法 ,  光散乱 ,  発光分光法 ,  粉体
準シソーラス用語： *微結晶シリコン ,  粉末 ,  材質

分類 (2件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (3件)： 堆積 ,  結晶シリコン太陽電池 ,  気相反応