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J-GLOBAL ID：201002222407298727   整理番号：10A0224694

液晶ディスプレイにおける透明電極としての応用のためのGaドープのZnO薄膜の熱抵抗

Heat Resistance of Ga-Doped ZnO Thin Films for Application as Transparent Electrodes in Liquid Crystal Displays

著者 (10件)： YAMAMOTO Naoki (Kochi Univ. Technol., Kochi, JPN) ,  MAKINO Hisao (Kochi Univ. Technol., Kochi, JPN) ,  YAMADA Takahiro (Kochi Univ. Technol., Kochi, JPN) ,  HIRASHIMA Yoshinori (Geomatec Co., Ltd., Tokyo, JPN) ,  IWAOKA Hiroaki (Geomatec Co., Ltd., Tokyo, JPN) ,  ITO Takahiro (Geomatec Co., Ltd., Tokyo, JPN) ,  UJIHARA Akira (Geomatec Co., Ltd., Tokyo, JPN) ,  HOKARI Hitoshi (Casio Computer Co., Ltd., Tokyo, JPN) ,  MORITA Hidehiro (Casio Computer Co., Ltd., Tokyo, JPN) ,  YAMAMOTO Tetsuya (Kochi Univ. Technol., Kochi, JPN)
資料名： Journal of the Electrochemical Society  (Journal of the Electrochemical Society)
巻： 157  号： 2  ページ： J13-J20  発行年： 2010年 
JST資料番号： C0285A  ISSN： 1945-7111  CODEN： JESOAN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： GaドープのZnO(GZO)膜の調製法(3種;一つは反応性プラズマ沈着,ほかの二つのマグネトロンスパタリング)を,その膜の熱抵抗特性の有望な因子として研究した。液晶ディスプレイ(LCD)の製造過程も考慮して,GZO膜の熱抵抗の観点から力学的及び電気的特性を解析した。RF+DCパワーを用いたマグネトロンスパタリングにより調製されたGZO膜はLCDの透明電極に対する条件を満足しない。その材料を電極として用い得ることを例示するため,赤-緑-青色フィルタ上にGZO透明電極を用いるLCDパネルを作製した。

シソーラス用語： *液晶ディスプレイ ,  *透明電極 ,  *ドーパント ,  *ガリウム ,  *酸化亜鉛 ,  *薄膜 ,  *熱抵抗 ,  マグネトロンスパッタリング ,  カラーフィルタ

分類 (4件)： 塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  表示機器  (NC06030Q) ,  電気化学一般  (CB07010N) ,  熱伝導  (PA02020Z)

タイトルに関連する用語 (7件)： 液晶ディスプレイ ,  透明電極 ,  応用 ,  Ga ,  ドープ ,  ZnO薄膜 ,  熱抵抗