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J-GLOBAL ID:201002222557849390   整理番号:10A0897915

液体冷却チップのための超薄マニホールドマイクロチャネルヒートシンクの実験研究

Experimental Investigation of an Ultrathin Manifold Microchannel Heat Sink for Liquid-Cooled Chips
著者 (5件):
資料名:
巻: 132  号:ページ: 081402.1-081402.10  発行年: 2010年08月 
JST資料番号: C0658A  ISSN: 0022-1481  CODEN: JHTRAO  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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実験によって,著者らの提案しているヒートシンク設計概念についてその特性を調べた。ヒートシンクは,構造面への液体スロット衝突噴流からなり,液流は積層二次元マニホールドから供給する。マイクロマシニングにより6種の異なる原型を作成し,マイクロチャネルアレイのチャネル幅及びマニホールドシステムの数を変えた。ヒートシンクにおける圧力降下及び加熱器面での温度分布を測定し,体積流量の関数としてヒートシンクの全体熱抵抗を求めた。ヒートシンクの熱流力特性にたいするチャネル幅及びマニホールド数の影響を解析した。既報の半経験的な一次元モデルと比較し,数値結果と定性的及び定量的に25%以内の誤差であることが分かった。もっともよい性能は,チャネル幅25μm,マニホールド数12.5の場合であった。2×2cm2チップ面積について,流量1.3l/分,圧力降下0.22bar及び入口温度20°Cで,熱抵抗0.09cm2K/Wとなった。これは流体入口及び最大チップ温度の最大温度差60Kについて冷却パワー密度700W/cm2に相当することなどを述べた。
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分類 (2件):
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対流・放射熱伝達  ,  固体デバイス一般 
タイトルに関連する用語 (3件):
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