文献

J-GLOBAL ID：201002222580728915   整理番号：10A0467112

2重トラックSAWデバイスを用いた新規なNO₂ガスセンサ

A novel NO₂ gas sensor using dual track SAW device

著者 (6件)： WEN Changbao (Inst. of Micro-nanoelectronics, School of Electronics and Control Engineering, Chang’an Univ., Xi’an, 710064, CHN) ,  WEN Changbao (Shaanxi Engineering and Technique Res. Center for Road and Traffic Detection, Xi’an, 710064, CHN) ,  ZHU Changchun (Inst. of Vacuum Microelectronics, School of Electronics and Information Engineering, Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an ...) ,  JU Yongfeng (Inst. of Micro-nanoelectronics, School of Electronics and Control Engineering, Chang’an Univ., Xi’an, 710064, CHN) ,  XU Hongke (Inst. of Micro-nanoelectronics, School of Electronics and Control Engineering, Chang’an Univ., Xi’an, 710064, CHN) ,  QIU Yanzhang (Inst. of Micro-nanoelectronics, School of Electronics and Control Engineering, Chang’an Univ., Xi’an, 710064, CHN)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 159  号： 2  ページ： 168-173  発行年： 2010年05月 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本報では,2重弾性表面波(SAW)デバイスを用いた2酸化窒素ガスセンサを開発し,製作した。2重トラックアーキテクチャとMSCを成功裡にセンサに応用した。外部擾乱を2重トラックアーキテクチャにより除去し,バルク音響波(BAW)を多ストリップ結合器(MSC)により抑止した。Morletウェーブレット関数によりアポダイズされた入力IDTは,均一IDTと比較してサイドローブ排除性を改善できた。原材料としてタングステン粉末,過酸化水素,無水メタノールおよびをポリビニルピロリドン利用して,2重トラックSAWデバイスの測定音響トラックにおける,NO₂ガスに鋭敏な微小多孔質網目構造の3酸化タングステン膜を製作した。実験結果で,2重トラックSAWデバイスを用いたNO₂ガスセンサは,0.5ppmから10ppmまでの種々濃度のNO₂ガスに対して良好な応答を有することを確認した。さらに,2重トラックSAWデバイスを用いたNO₂ガスセンサは良好な再現性と安定性を有した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 二重構造 ,  *弾性表面波素子 ,  *二酸化窒素 ,  *ガスセンサ ,  弾性波 ,  ストリップ線路 ,  結合器 ,  ウェーブレット変換 ,  サイドローブ ,  信号変換器 ,  タングステン ,  多孔性 ,  ネットワーク構造
準シソーラス用語： IDT ,  SAWデバイス ,  バルク波 ,  多孔質 ,  網目構造

分類 (2件)： その他の固体デバイス  (NC03150A) ,  弾性表面波デバイス  (NC03120T)

タイトルに関連する用語 (4件)： トラック ,  SAWデバイス ,  NO2 ,  ガスセンサ