抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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有機デバイスの作成プロセスの低コスト化のため,湿式法が期待されている。従来の湿式法には,積層構造の構築が困難,材料の高精細塗り分けが困難,溶液濃度の制約という問題がある。本研究では,ESDUS(Evaporative Spray Deposition using Ultradilute Solution)法による素子作成プロセスを使って有機デバイスを製作し素子特性を評価した。その結果,ESDUS法により蒸着プロセスと同じように膜構造制御が可能であることが分かった。