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J-GLOBAL ID：201002223260207387   整理番号：10A0282794

球面収差補正走査透過型電子顕微鏡を用いたシリコン結晶中のヒ素ドーパント原子の検出

Detection of arsenic dopant atoms in a silicon crystal using a spherical aberration corrected scanning transmission electron microscope

著者 (9件)： OSHIMA Y. ,  HASHIMOTO Y. ,  TANISHIRO Y. ,  TAKAYANAGI K. ,  SAWADA H. ,  KANEYAMA T. ,  KONDO Y. ,  HASHIKAWA N. (Renesas Technol. Corp., Tokyo, JPN) ,  ASAYAMA K. (Renesas Technol. Corp., Tokyo, JPN)
資料名： Physical Review. B. Condensed Matter and Materials Physics  (Physical Review. B. Condensed Matter and Materials Physics)
巻： 81  号： 3  ページ： 035317.1-035317.5  発行年： 2010年01月 
JST資料番号： D0746A  ISSN： 1098-0121  CODEN： PRBMDO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： 収差補正 ,  *透過型走査電子顕微鏡 ,  *ケイ素 ,  ドーパント ,  *ヒ素 ,  検出 ,  ゆらぎ ,  電子プローブ ,  焦点合せ ,  RTA【熱処理】 ,  球面収差補正 ,  閾値電圧

分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  半導体の格子欠陥  (BK12040Q)

タイトルに関連する用語 (6件)： 球面収差補正 ,  走査透過型電子顕微鏡 ,  シリコン結晶 ,  ヒ素 ,  ドーパント ,  原子