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J-GLOBAL ID：201002223864497847   整理番号：10A1567895

金クラスタイオン源を備えたTOF-Simsを用いた高分子物質からの二次イオン収率強化の評価

Evaluation of secondary ion yield enhancement from polymer material by using TOF-SIMS equipped with a gold cluster ion source

著者 (6件)： AIMOTO K ,  AOYAGI S ,  KATO N ,  IIDA N ,  YAMAMOTO A ,  KUDO M
資料名： APPLIED SURFACE SCIENCE
巻： 252  号： 19  ページ： 6547-6549  発行年： 2006年 
JST資料番号： O0615A  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (7件)： 金クラスタ ,  イオン源 ,  TOF-SIMS ,  高分子物質 ,  イオン収率 ,  強化 ,  評価