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J-GLOBAL ID：201002223960695889   整理番号：10A0346953

10から47nmのウラニウムの光学定数の特性評価

Characterization of optical constants for uranium from 10 to 47 nm

著者 (6件)： BRIMHALL Nicole ,  HERRICK Nicholas ,  ALLRED David D. ,  TURLEY R. Steven ,  WARE Michael ,  PEATROSS Justin
資料名： Applied Optics  (Applied Optics)
巻： 49  号： 9  ページ： 1581  発行年： 2010年03月20日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 10から47nmの波長範囲で元素状態のウラニウムの光学定数を測定するため,高調波型極端紫外線(EUV)偏光計を使用する。その場蒸着ウラニウム薄膜からのp偏光とs偏光の反射率の測定値の比からその定数を抽出する。室の空気で完全に酸化した後の試料の分光偏光解析測定から薄膜の厚さを推測する。EUVにおける高反射材料としてウラニウムを使用する。しかしながら,酸化に伴う問題により,本研究に先立つ注意深い特性評価が妨げられた。ウラニウムの光学定数の測定値が先の推定から大きく変化していることがわかる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： ウラン ,  *光学定数 ,  極端紫外線 ,  偏光計 ,  反射率 ,  蒸着膜 ,  屈折率 ,  光学的測定 ,  *金属薄膜
準シソーラス用語： ウラニウム

分類 (2件)： 光物性一般  (BM08010A) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (3件)： ウラニウム ,  光学定数 ,  特性評価