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J-GLOBAL ID：201002224466897459   整理番号：10A1036561

XIII.新しいエレクトロニクス関連材料とデバイス(3)透明導電膜

著者 (1件)： 鈴木晶雄 (大阪産大 工)
資料名： 日本接着学会誌  (Journal of the Adhesion Society of Japan)
巻： 46  号： 10  ページ： 391-399  発行年： 2010年10月01日 
JST資料番号： G0749A  ISSN： 0916-4812  CODEN： NSEGE7  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 液晶ディスプレイや太陽電池などに広く使われる透明導電膜の全生産量の90%以上を,酸化インジウム系のITOが占めているが,主材料のインジウムの高騰やITO粉末の人体への影響懸念が指摘されている。資源・環境面で優位性を示すZnO系,特に資源面で優位なAZO透明導電膜について,PLD法による成膜,作製手法の最適化による超低抵抗率の実現,結晶構造解析による伝導機構の解明などについて述べた。次に,AZO+ITO積層型太陽電池用ハイブリッド透明導電膜の概略図を示し,良好な電気的特性,光学的特性に加え,耐久性に優れること,それぞれの膜が相互拡散せず二層に明確に積層していることを説明した。フルスペクトル対応の太陽電池用ZnO系透明導電膜として,ZnOにアルミン酸銅をドープしたACZO,三酸化チタンをドープしたTZOを紹介した。又,ダブルテクスチャー構造を有するACZO透明導電膜について解説した。

シソーラス用語： *透明導電膜 ,  酸化インジウムスズ ,  *酸化亜鉛 ,  酸化アルミニウム ,  レーザ蒸着 ,  電気抵抗率 ,  エネルギー密度 ,  透過率 ,  結晶構造解析 ,  積層構造 ,  太陽電池 ,  ドーパント ,  アルミン酸塩 ,  酸化チタン ,  電子顕微鏡観察 ,  表面構造 ,  光学的性質 ,  耐久性 ,  銅化合物 ,  パルスレーザ蒸着
準シソーラス用語： PLD法 ,  成膜 ,  電子デバイス ,  電子材料 ,  表面テクスチャー ,  分光透過率 ,  変換効率

分類 (4件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (2件)： エレクトロニクス ,  透明導電膜