文献

J-GLOBAL ID：201002225130897341   整理番号：10A1045375

Borofloat(ホウケイ酸8330)ガラスの表面失透とクリストバライトの成長

Surface Devitrification and the Growth of Cristobalite in Borofloat (Borosilicate 8330) Glass

著者 (6件)： MOGULKOC Berker (Univ. Twente, Enschede, NLD) ,  KNOWLES Kevin M. (Univ. Cambridge, Cambridge, GBR) ,  JANSEN Henri V. (Univ. Twente, Enschede, NLD) ,  TER BRAKE H. J. Marcel (Univ. Twente, Enschede, NLD) ,  ELWENSPOEK Miko C. (Univ. Twente, Enschede, NLD) ,  ELWENSPOEK Miko C. (Univ. Freiburg, Freiburg, DEU)
資料名： Journal of the American Ceramic Society  (Journal of the American Ceramic Society)
巻： 93  号： 9  ページ： 2713-2719  発行年： 2010年09月 
JST資料番号： C0253A  ISSN： 0002-7820  CODEN： JACTAW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 厚さ500μm,径100mmのBorofloatのウエハーを,ガラス転移点以上の温度に加熱し,結晶化の速度やモルホロジーを研究した。加熱は660~850°Cで行い,保持時間は660°Cでは23h,以後温度とともに短くし,740°C以上では5分以下とした。直接結晶成長の理論を使用して,空気中での加熱の場合の,クリストバライトの不均質核発生と結晶成長のモデルを作製した。高温では融体表面からの蒸発の影響が著しかった。比較的低温での失透速度の解析結果では,活性化エネルギーは185kJ/molで,シリカ中のホウ素の拡散の値に近かった。薄膜の被覆などで,表面の空気との接触を絶つと,表面のクリストバライトの核発生と成長が妨げられた。

シソーラス用語： *ホウケイ酸ガラス ,  酸化ホウ素 ,  アルミナ ,  酸化ナトリウム ,  酸化カリウム ,  *失透 ,  表面 ,  *クリストバライト ,  結晶化 ,  核形成 ,  加熱 ,  *結晶成長 ,  反応速度 ,  活性化エネルギー ,  二酸化ケイ素
準シソーラス用語： シリカ

分類 (1件)： ガラスの性質・分析・試験  (YC02030Z)

タイトルに関連する用語 (5件)： ケイ酸 ,  ガラス ,  失透 ,  クリストバライト ,  成長