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J-GLOBAL ID：201002225379552131   整理番号：10A1146976

バンプ高さ検査における三次元計測手法

著者 (1件)： 石原満宏 (高岳製作所)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2010  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.L31  発行年： 2010年09月10日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 最近のバンプ高さ検査装置で用いられる三次元計測技術について述べている。バンプ高さ検査は光三次元計測のキラーアプリケーションとも言えるもので,様々な手法が様々な研究機関・メーカで提案・開発されてきた。光三次元計測技術の普及に,少なからず貢献したと言えるバンプ高さ検査に関して,最近の主要な技術・問題点などを紹介し,光三次元計測の実用面での議論を活発化させる端緒としたい。(著者抄録)

シソーラス用語： *バンプ ,  *検査 ,  三次元測定 ,  計測工学 ,  試験装置 ,  投影法【図法】 ,  技術 ,  干渉測定
準シソーラス用語： *高さ検査 ,  三次元計測 ,  検査装置 ,  正反射型光切断法 ,  光切断法 ,  格子パターン投影位相シフト法 ,  非走査マルチビーム共焦点法 ,  手法 ,  白色干渉法

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (5件)： バンプ ,  高さ ,  検査 ,  三次元計測 ,  手法