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J-GLOBAL ID：201002227094617909   整理番号：10A0814043

高速EBSDを用いる方位顕微鏡法

Orientation microscopy with fast EBSD

著者 (2件)： SCHWARZER R. A. ,  HJELEN J. (NTNU, Trondheim, NOR)
資料名： Materials Science and Technology  (Materials Science and Technology)
巻： 26  号： 6  ページ： 646-649  発行年： 2010年06月 
JST資料番号： C0304C  ISSN： 0267-0836  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SEMの普及と共に結晶方位測定法の標準となった感のある電子線後方散乱回折(EBSD)法の測定を更に高速化した場合の効用,或いは,高速化を必要とする理由をまとめ,高速化する各種の方法について展望した。最新の高速EBSDでは,十分に迅速,柔軟,且つ高い信頼性で結晶方位情報を得ることが可能である。その優れた特徴のため,高速EBSDはいずれはEBSD技術の標準となると思われる。

シソーラス用語： *電子回折 ,  *結晶方位 ,  高速度 ,  高速化 ,  走査電子顕微鏡 ,  方位分布関数
準シソーラス用語： *EBSD ,  高速

分類 (1件)： 電子回折法  (BK01030T)

タイトルに関連する用語 (3件)： EBSD ,  方位 ,  顕微鏡法