抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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現在,車載用IC等の電気電子部品向けの絶縁封止材料として,主にシリコーンゴムが用いられている。しかし,シリコーンは200°C以上の温度での長期的な耐熱性に問題がある。また,不純物として含まれる揮発性低分子シロキサンが,導通不良を起こす欠点を有している。一方,ポリジメチルシロキサン(PDMS)を原料とし,ナノガラスクラスタを介した架橋構造をとるPDMS系有機・無機ハイブリッドは,耐熱性と機械的特性に特徴を有する材料として知られている。本論文では,このPDMS系ハイブリッドの絶縁特性と低分子揮発量を評価し,車載用IC等の絶縁封止材料としての実用化の可能性を探った。その結果,PDMS系ハイブリッド材料は,300°C以上の耐熱性を有し,低分子シロキサン量が極めて少ない絶縁材料となることが明らかとなった。本材料は,電気電子部品や光学半導体素子向けの封止材料として実用化が可能であると考える。