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J-GLOBAL ID：201002227542977318   整理番号：10A1193698

マスクレス多重角露光を用いたチャネル内三次元マイクロメッシュ構造の新しい作成とそのマイクロフィルタへの応用

A novel fabrication of in-channel 3-D micromesh structure using maskless multi-angle exposure and its microfilter application

著者 (4件)： SATO H ,  KAKINUMA T ,  GO Js ,  SHOJI S
資料名： MEMS-03: IEEE THE SIXTEENTH ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS
ページ： 223-226  発行年： 2003年 
JST資料番号： I20030659  ISSN： 1084-6999  ISBN： 0-7803-7744-3  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (7件)： マスクレス ,  多重 ,  露光 ,  チャネル ,  メッシュ構造 ,  マイクロフィルタ ,  応用