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J-GLOBAL ID：201002228515026294   整理番号：10A0932641

スパッタ蒸着したナノ構造Cr-WS₂固体潤滑剤被膜の構造,モルホロジー及び化学組成

Structure, morphology and chemical composition of sputter deposited nanostructured Cr-WS₂ solid lubricant coatings

著者 (7件)： DEEPTHI B. ,  BARSHILIA Harish C. ,  RAJAM K.s. ,  KONCHADY Manohar S. ,  PAI Devdas M. ,  SANKAR Jagannathan ,  KVIT Alexander V.
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 205  号： 2  ページ： 565-574  発行年： 2010年10月15日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非均衡マグネトロンスパッタリングシステムを使用して,シリコンと軟鋼基板にWS₂といろいろなCr含有量(約15~50at%)のCr-WS₂ナノ複合材被膜を蒸着した。X線回折(XRD)で,Cr-WS₂被膜の構造を研究し,X線光電子分光学(XPS)で被膜の接着構造を研究した。マイクロRaman分光で,Cr-WS₂被膜に存在するいろいろな相のキャラクタリゼーションを行った。XPSとRamanのデータによると,Cr-WS₂被膜の表面にWO₃の薄層が形成されていて,Cr含有量の増加に従って,この酸化物相の信号強度は減少した。これは,エネルギー分散型X線分析の結果でも確認された。電界放射型走査電子顕微鏡(FESEM)と原子間力顕微鏡を使用して,WS₂の表面モルホロジーとCr-WS₂被膜を調べた。WS₂へのCrの導入によって,Cr-WS₂被膜の構造とモルホロジーは大きな影響を受けることが判明した。XRDとFESEMの結果から,Cr-WS₂被膜のCr含有量の増加によって,ナノ結晶質と無定形相の混合物から,完全な無定形相への構造転移が起きると考えられた。WS₂被膜の断面のFESEMデータは,多孔性の柱状のミクロ構造を示した。Cr-WS₂被膜では,低いCr含有量(≦23at%)では柱状ミクロ構造と特徴のないミクロ構造の混合物が観察された。ところが,高いCr含有量では,緻密で特徴のないミクロ構造が観察された。Cr含有量≦23at%で製作されたCr-WS₂被膜の詳細な断面の透過電子顕微鏡(TEMの)での研究では,ナノ結晶質層(界面近傍)と無定形相(表面近傍)の両方が存在した。さらに,ナノ結晶質域から得られた高解像度TEMデータでは,ナノ結晶質WS₂相に無定形相の痕跡の介在物が認められた。動電位法の分極測定によると,Cr-WS₂被膜の耐食性は被膜の施していない軟鋼基板より優れており,Cr含有量の増加に従って,腐食速度は減少した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *固体潤滑剤 ,  化学組成 ,  モルフォロジー ,  スパッタ蒸着 ,  ナノ構造 ,  *クロム ,  *タングステン化合物 ,  *硫化物 ,  被覆層 ,  マグネトロンスパッタリング ,  ケイ素 ,  軟鋼 ,  ナノ複合材料 ,  非晶質 ,  耐食性 ,  腐食速度 ,  微細構造 ,  多孔性 ,  介在物 ,  腐食
準シソーラス用語： *硫化タングステン

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  硫黄とその化合物  (YB02020L)

タイトルに関連する用語 (6件)： スパッタ蒸着 ,  ナノ構造 ,  固体潤滑剤 ,  被膜 ,  モルホロジー ,  化学組成