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J-GLOBAL ID:201002229003585735   整理番号:10A0700266

ファイバ形成高分子上の低温アルミニウム酸化物原子層沈着過程での表面及びサブ表面反応

Surface and sub-surface reactions during low temperature aluminium oxide atomic layer deposition on fiber-forming polymers
著者 (6件):
資料名:
巻: 20  号: 20  ページ: 4213-4222  発行年: 2010年05月28日 
JST資料番号: W0204A  ISSN: 0959-9428  CODEN: JMACEP  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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高分子上の蒸気相金属-有機前駆体露出過程での初期反応は,高分子置換基及び高分子単位との鎖会合度に大きく依存する。メチル基をもつポリプロピレンはTMAと非反応的に吸着するが,反応性アミド結合単位をもつポリアミド-6はトリメチルアルミニウム(TMA)と迅速に反応し,第一TMA露出サイクル過程で大きな質量を取得する。FTIRスペクトルから,TMAはアミド結合単位に挿入し,メチル基の挿入と-C-O-Al-結合の形成が起る。TMAは,NH...O=C水素結合による速度増強,及び/またはTMA/カルボニル反応はIRにより認められるN-H伸縮の強度を減少させる水素結合の置換により,ポリアミド-6中のNHと反応すると推測した。
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分類 (2件):
分類
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高分子と低分子との反応  ,  有機化合物の赤外スペクトル及びRaman散乱,Ramanスペクトル 
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