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J-GLOBAL ID：201002229234477412   整理番号：10A1148421

小型D級4MHz 7.5kW RFジェネレータ さらなる小型化 体積40%削減(当社比)

資料名： 京三サーキュラー  (Kyosan Biomonthly Technical Journal)
巻： 61  号： 6  ページ： 24-25  発行年： 2010年11月01日 
JST資料番号： X0465A  ISSN： 2434-5067  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本RFジェネレータはD級増幅方式を採用し,小型化を実現したRFジェネレータです。新たにラインアップに加わりましたので紹介します。RFジェネレータは主に液晶・ディスク(DVD・CDなど)・太陽光のパネル製造装置や半導体製造装置用のプラズマ発生用電源として使用されています。400V入力対応のRF電源でご好評いただいているFHシリーズと同様にDC部回路構成を見直すとともに,200V入力に対応した設計を行うことで,大幅な部品点数の削減と小型化を達成し,従来比体積40%削減のさらなる小型化と200V入力の対応を同時に実現しました。(著者抄録)

シソーラス用語： *電源装置 ,  プラズマ ,  小型化 ,  軽量化 ,  MOSFET ,  水晶発振器 ,  HF【周波数】

分類 (1件)： 電源回路  (NC05060Q)

タイトルに関連する用語 (3件)： RF ,  ジェネレータ ,  体積