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J-GLOBAL ID:201002229456271464   整理番号:10A0942966

金属-強誘電体(Bi3.15Nd0.85Ti3O12)-絶縁体(Y2O3安定化ZrO)-シリコンダイオード

The electrical and switching properties of a metal-ferroelectric (Bi3.15Nd0.85Ti3O12)-insulator (Y2O3-stabilized ZrO2)-silicon diode
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資料名:
巻: 97  号: 10  ページ: 103501  発行年: 2010年09月06日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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強誘電体層としてBi3.15Nd0.85Ti3O12(BNT)及び絶縁バッファ層としてY2O3安定化ZrO(YSZ)をもつ金属-強誘電体-絶縁体-シリコンダイオードを作製した。測定は,作製ダイオードのメモリウィンドウが,動作温度の上昇とともに減少し,それが,BNT膜の抗電場及び分極の低下によるものであることを明らかにした。ダイオードは,YSZ/Siの良好な界面及び高い障壁高さのため,優れた保持時間及び疲れ特性を実証した。加えて,ダイオードのスイッチングは近似的な低電流過程に対応しており,完全スイッチング時間は,ゲート電圧の増大とともに,明らかな減少を示した。(翻訳著者抄録)
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分類 (2件):
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ダイオード  ,  半導体集積回路 
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