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J-GLOBAL ID：201002229740614304   整理番号：10A0035230

プリント配線基板内蔵用高容量薄膜コンデンサの開発-粒子凝集現象を利用した誘電体薄膜の作製-

著者 (4件)： 牧野晃久 (福岡県工技セ) ,  有村雅司 (福岡県工技セ) ,  藤吉国孝 (福岡県工技セ) ,  桑原誠 (九大)
資料名： 福岡県工業技術センター研究報告
号： 19  ページ： 33-36  発行年： 2009年10月 
JST資料番号： G0843B  ISSN： 0916-8230  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： チタン酸バリウム(BaTiO₃)ナノ粒子分散液中において,BaTiO₃に対して凝集作用のあるポリアクリル酸(PAA)や塩化カリウム(KCl)を添加した結果,見かけ上同様の凝集作用を示すPAAとKClの凝集メカニズムは大きく異なっていた。PAAは粒子表面に吸着してゼータ電位を低下させることにより凝集し,KClはスラリー中のイオン強度を増加させることにより電気二重層を圧縮し,粒子間反発力を低下させることにより凝集した。PAAをバッファ層に用いて薄膜を形成した場合,吸着したPAA同士が堆積時に絡み合うために粒子充填率が低く,厚みのバラツキが大きい薄膜が形成されたのに対し,KClをバッファ層とした場合,電気二重層が圧縮され,粒子間反発相互作用が低減したためにバッファ層を用いない従来の粒子塗布法よりも堆積性の良い緻密な膜が得られた。(著者抄録)

シソーラス用語： *チタン酸バリウム ,  誘電体薄膜 ,  *ナノ粒子 ,  *ポリアクリル酸 ,  *塩化カリウム ,  *凝集 ,  ζ電位 ,  イオン強度 ,  電気二重層 ,  バッファ層 ,  緻密化 ,  薄膜コンデンサ ,  プリント基板 ,  分散系 ,  強誘電体 ,  薄膜成長 ,  *分散剤
準シソーラス用語： 充填率

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  コロイド化学一般  (CB11010C)

引用文献 (6件)：

• Y. Hirata et al.: J. Ceram. Soc. Jpn., 111, pp. 232-237(2003)
• J. Gustafsson et al.: J. Coll. Interface Sci., 258, pp. 235-243(2003)
• 日本化学会編: コロイド科学 I. 基礎及び分散・吸着, PP185-186(1995)
• W. C. J. Wei et al.: J. Ceram. Soc. Jpn., 107, pp. 313-317(1999)
• T. Shirai et al.: J. Ceram. Soc. Jpn., 114, pp. 217-219(2006)

タイトルに関連する用語 (7件)： プリント配線基板 ,  薄膜コンデンサ ,  開発 ,  凝集 ,  現象 ,  誘電体薄膜 ,  作製