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J-GLOBAL ID：201002230044267185   整理番号：10A0826839

TiO₂に基づく透明導電性酸化物の特性

Properties of TiO₂-based transparent conducting oxides

著者 (8件)： HITOSUGI Taro (Kanagawa Acad. of Sci. and Technol. (KAST), Kawasaki, JPN) ,  HITOSUGI Taro (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  YAMADA Naoomi (Kanagawa Acad. of Sci. and Technol. (KAST), Kawasaki, JPN) ,  NAKAO Shoichiro (Kanagawa Acad. of Sci. and Technol. (KAST), Kawasaki, JPN) ,  HIROSE Yasushi (Kanagawa Acad. of Sci. and Technol. (KAST), Kawasaki, JPN) ,  HIROSE Yasushi (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  HASEGAWA Tetsuya (Kanagawa Acad. of Sci. and Technol. (KAST), Kawasaki, JPN) ,  HASEGAWA Tetsuya (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名： Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science  (Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 207  号： 7  ページ： 1529-1537  発行年： 2010年07月 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 1862-6300  CODEN： PSSABA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸化インジウムスズと同等の電気および光学特性を示す新しいTiO₂系の透明導電性酸化物(TCO)薄膜の開発と性質を概説した。特に,Nbドープによって劇的な非金属-金属転移を起こすアナターゼTi_1-xNb_xO₂(TNO)の優れた特性を論じた。SrTiO₃(100)およびLaAlO₃(100)上にパルスレーザ蒸着したエピタキシャルTNO膜では2~3×10^-4Ωcmの非常に低い抵抗率と約95%の可視域透過率を示した。これは高効率で伝導電子を放出する典型的な縮退半導体であった。また,ガラス基板上へのスパッタ蒸着によっても抵抗率が8×10^-4Ωcmの多結晶TNO膜の作製に成功した。これは大面積の透明電極として有用である。一般化勾配近似(GCA)を用いた第一原理バンド構造計算をX線光電子スペクトルと比較し,TNOがd電子に基づくTCOであることが分かった。他にもd電子に基づく新TCOがみつかる可能性があろう。

シソーラス用語： 化合物半導体 ,  *酸化チタン ,  *ニオブ ,  *ドーピング ,  半導体薄膜 ,  透明導電膜 ,  レーザ蒸着 ,  エピタクシー ,  *電気抵抗率 ,  Hall移動度 ,  キャリア密度 ,  透過率 ,  *光学定数 ,  光学ギャップ ,  スパッタ蒸着 ,  アナターゼ型結晶 ,  透明電極 ,  第一原理 ,  X線光電子スペクトル ,  パルスレーザ蒸着
準シソーラス用語： 透明導電性酸化物 ,  *二酸化チタン

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (2件)： TiO2 ,  透明導電性酸化物