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J-GLOBAL ID：201002230221044787   整理番号：10A0851305

プラズマ増強マグネトロンスパタリングSi-C-N被膜の機械的性質

Mechanical properties of the plasma-enhanced magnetron sputtering Si-C-N coatings

著者 (4件)： WANG Yanfeng (Northwest Inst. for Nonferrous Metal Res., Xi’an 710016 China) ,  LI Zhengxian (Northwest Inst. for Nonferrous Metal Res., Xi’an 710016 China) ,  DU Jihong (Northwest Inst. for Nonferrous Metal Res., Xi’an 710016 China) ,  WANG Baoyun (Northwest Inst. for Nonferrous Metal Res., Xi’an 710016 China)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 257  号： 1  ページ： 1-5  発行年： 2010年10月15日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々の組成を持つ,プラズマ増強マグネトロンスパタリングSi-C-N硬質被膜の機械的性質が特性評価される。マイクロ構造及び被膜の性質に対する化学的組成の効果が研究される。結果はSi-C-N被膜のマイクロ構造及び機械的性質が化学的組成に非常に敏感であることを示す。ナノ結晶/アモルファス複合構造は被膜の機械的性質に有益である。低Si高C濃度のSi-C-N被膜が最高の硬さ(≧40GPa)と約0.2の乾燥摩擦係数の最善の摩耗性を持つ。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： マグネトロンスパッタリング ,  *スパッタ蒸着 ,  *窒化物 ,  *ケイ素化合物 ,  *炭化物 ,  *蒸着膜 ,  プラズマ ,  化学組成 ,  *硬度 ,  *摩擦係数 ,  微細構造

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： プラズマ ,  増強 ,  マグネトロンスパタリング ,  Si ,  被膜 ,  機械的性質