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J-GLOBAL ID：201002230266731831   整理番号：10A0580542

ディジタルマイクロミラー装置に基づくUV光プロッタによる回折光学素子と平面導波路の直接描画

Direct write of optical diffractive elements and planar waveguides with a digital micromirror device based UV photoplotter

著者 (4件)： KESSELS M.v. (Telecom Bretagne, Technopole Brest-Iroise, CS 83818, 29238 Brest Cedex 3, FRA) ,  NASSOUR C. (Telecom Bretagne, Technopole Brest-Iroise, CS 83818, 29238 Brest Cedex 3, FRA) ,  GROSSO P. (Centre Commun Lannionnais d’Optique (CCLO) UMR CNRS 6082 Foton, ENSSAT, 6 rue de Kerampont, BP 80518, 22305 Lannion ...) ,  HEGGARTY K. (Telecom Bretagne, Technopole Brest-Iroise, CS 83818, 29238 Brest Cedex 3, FRA)
資料名： Optics Communications  (Optics Communications)
巻： 283  号： 15  ページ： 3089-3094  発行年： 2010年08月01日 
JST資料番号： A0678B  ISSN： 0030-4018  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 実時間で再構成できるマスクとしてのディジタルマイクロミラー素子に基づく光プロッタを設計して,種々の感光材料に対する微細構造の直接描画を行った。2,4,8の位相レベルをもつ計算機ホログラムなどの二値および多水準の素子とテーパおよび/または長周期格子をもつ平面光導波路を単一処理ステップで製作した。魅力的な光学特性をもつ様々な感光材料への直接並列描画を提案し,市販の有機-無機ハイブリッド材料による最初の実験結果を報告した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *光導波路 ,  *平面導波路 ,  *フォトリソグラフィー ,  *作図装置 ,  紫外線 ,  *光学素子 ,  反射鏡 ,  実時間処理 ,  フォトマスク ,  感光材料 ,  微細構造 ,  パターン形成 ,  計算機ホログラム ,  ホログラフィック格子 ,  並列処理 ,  有機-無機ハイブリッド ,  実証実験
準シソーラス用語： ディジタル・マイクロミラー・デバイス ,  *回折光学素子 ,  直接描画

分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： ディジタル ,  ミラー装置 ,  UV光 ,  プロッタ ,  回折光学素子 ,  平面導波路 ,  直接描画