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J-GLOBAL ID：201002230377197079   整理番号：10A0205085

白色干渉計測技術 動的実時間白色干渉映像法

著者 (3件)： 佐藤世智 (東大) ,  栗原徹 (東大) ,  安藤繁 (東大)
資料名： 光アライアンス  (Optical Alliance)
巻： 21  号： 3  ページ： 15-18  発行年： 2010年03月01日 
JST資料番号： L1746A  ISSN： 0917-026X  CODEN： HARAEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本稿では,垂直走査型の白色光干渉計測計が有する,高速走査時の機械系の応答性能・過渡応答と,インターフェログラムのサンプリング密度の低減という2つの課題を同時に解決する手法である動的白色干渉法について概説した。本手法の特徴の1つはイメージセンサとして,筆者らの研究室で開発を進めている各画素がロックイン検出の機能を有する時間相関イメージセンサを用いることにある。このイメージセンサを白色干渉計に組み合わせることにより,垂直走査時に参照ミラーを止めることなく一定速度で走査しながらインターフェログラムのサブナイキスト周波数でのサンプリング計測が可能となる。

シソーラス用語： *光干渉法 ,  白色光 ,  MEMS ,  *形状測定 ,  イメージセンサ ,  干渉縞
準シソーラス用語： 形状計測

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (5件)： 白色 ,  干渉計測 ,  実時間 ,  干渉 ,  映像