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J-GLOBAL ID：201002231813806295   整理番号：10A1060920

熱空気圧によって駆動される双安定マイクロバルブ

A thermopneumatically actuated bistable microvalve

著者 (4件)： YANG Bocong (RWTH Aachen Univ., Aachen, DEU) ,  YANG Bocong (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  WANG Boxiong (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  SCHOMBURG Werner Karl (RWTH Aachen Univ., Aachen, DEU)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 20  号： 9  ページ： 095024,1-8  発行年： 2010年09月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 熱空気圧アクチュエータは,バルブ状態を制御するための内部圧力を変化させるために,アクチュエータ室を加熱するための抵抗器有をしている,それらはより大きなストロークを達成すること,大きな力を与えること,および低い電圧で駆動されることができる。熱空気圧アクチュエータをもつ双安定ポリマーマイクロバルブを開発した。これは,3/2-ウェイバルブとして接続できるように交互にスイッチされる2つの2/2-ウェイバルブより構成されている。応答時間を低減するために,ヒータを薄膜状に製造し,それにより熱伝導によるエネルギー損失を低減するために箱体との接触を避けた。1.36L min^-1の空気流量が,圧力差200kPaで達成され,最大300kPaの差圧で漏れは観察されなかった。8μm厚さの加熱膜で,10msの応答時間を達成し,連続スイッチングの性能は最大1Hzであった。

シソーラス用語： *双安定性 ,  弁 ,  気圧 ,  熱 ,  *アクチュエータ ,  抵抗器 ,  応答時間 ,  加熱器 ,  スイッチング
準シソーラス用語： ヒータ ,  *マイクロバルブ ,  *空気圧 ,  双安定

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 空気圧 ,  双安定 ,  マイクロバルブ