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J-GLOBAL ID：201002232649836591   整理番号：10A0995430

水素終端されたSOIウエハーの機能自己組織化単分子層の完全性

Integrity of functional self-assembled monolayers on hydrogen-terminated silicon-on-insulator wafers

著者 (3件)： TIAN Fangyuan (Dep. of Chemistry and Biochemistry, Univ. of Delaware, Newark, DE 19716, USA) ,  NI Chaoying (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Univ. of Delaware, Newark, DE 19716, USA) ,  TEPLYAKOV Andrew V. (Dep. of Chemistry and Biochemistry, Univ. of Delaware, Newark, DE 19716, USA)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 257  号： 4  ページ： 1314-1318  発行年： 2010年12月01日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 絶縁体上のシリコン(SOI)ウエハーは一般にマイクロエレクトロニクス,エネルギー変換,そして検出素子の設計に用いられてきた。SOIウエハー表面上の薄い固体膜は多くの研究課題であった。しかしながら,機能素子としても用いられる自己組織化単分子層(SAMs)によって改質されたSOIウエハーは,極めて狭い範囲で調べられてきた。本研究では,1-アミノ-10-ウンデセン単分子層により保護されたtert-ブトキシカルボニルアミノ酢酸(t-boc,(CH₃)₃-C-O-C(O)-)がH-終端されたSOI(100)ウエハーに共有結合的に取り付けられた。改質されたウエハーは,SAM/Si界面の安定性及びSAMにおける2次アミンの完全性確認のためX線光電子スペクトロスコピーにより特性づけられた。透過型電子顕微鏡の調査では,この1-アミノ-10-ウンデセンにより保護されたt-bocSAMは,SOIウエハーの2μm単結晶シリコンの原子的に平坦な界面が出来ていることが示唆され,SiO_x及び両方の有用なSi/SiO_x界面が保護され,そして明白に1.7nm厚の有機単層は安定で,SAM中における分子の特徴の密度汎関数理論モデリングの結果と一致する。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ケイ素 ,  ウエハ【IC】 ,  自己組織化 ,  *単分子層 ,  *SOI構造 ,  *保護膜 ,  X線光電子スペクトル ,  透過型電子顕微鏡 ,  安定性 ,  密度汎関数法
準シソーラス用語： 水素終端

分類 (1件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L)

物質索引 (2件)： tert-ブトキシカルボニルアミノ酢酸 ,  1-アミノ-10-ウンデセン

タイトルに関連する用語 (5件)： 水素終端 ,  SOI ,  ウエハー ,  自己組織化単分子層 ,  完全性