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J-GLOBAL ID：201002232690555884   整理番号：10A0230328

MEMS:接触の恐怖への終わり

MEMS: An end to fear of contact

著者 (1件)： DAY Linda
資料名： Tribology & Lubrication Technology  (Tribology & Lubrication Technology)
巻： 66  号： 2  ページ： 32-34,36-39  発行年： 2010年02月 
JST資料番号： C0445A  ISSN： 1545-858X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロモータ,タービン,歯車,滑り機構,その他革新的接触用途に門戸を開く新しい潤滑技術を紹介する。過去30年にわたってMEMSは接触や滑りの無い用途に有用であったが,接触し摩擦するMEMS歯車,モータ,タービン,スライダではどうか?粘着,摩擦,摩耗の問題をどのように解決するか?ナノスケールでの接着はvan der Waals力,毛細管物理・化学力の結果である。その現象は磁気記憶ヘッドとハードディスク面間で水が凝結する磁気記憶業界で最初に観察された。接着と接触の組合せがMEMS装置の解決すべき主要障害になる。接着問題は通常単分子厚さの薄膜である自己集合単層によって解決されてきた。潤滑問題のためにMEMS応用の進歩が30年以上遅れたとする,Duke大学客員教授Dr.Jackueline Krimの説明を紹介した。

シソーラス用語： van der Waals力 ,  *MEMS ,  マイクロマシニング ,  *接触問題 ,  滑り摩擦 ,  マイクロモータ ,  タービン ,  磁気ディスク ,  磁気ヘッド ,  *トライボロジー ,  自己組織系 ,  単分子層
準シソーラス用語： スライダ ,  マイクロタービン ,  自己集合単分子膜

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  潤滑一般  (QB02010S)

タイトルに関連する用語 (2件)： MEMS ,  恐怖