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J-GLOBAL ID：201002232981070365   整理番号：10A1027398

横モード共振カンチレバーを用いる液相化学検出

Liquid-Phase Chemical Sensing Using Lateral Mode Resonant Cantilevers

著者 (7件)： BEARDSLEE L.A. (Georgia Inst. of Technol., Georgia) ,  DEMIRCI K.S. (Georgia Inst. of Technol., Georgia) ,  LUZINOVA Y. (Georgia Inst. of Technol., Georgia) ,  MIZAIKOFF B. (Univ. Ulm, Ulm, DEU) ,  HEINRICH S.M. (Marquette Univ., Wisconsin) ,  JOSSE F. (Marquette Univ., Wisconsin) ,  BRAND O. (Georgia Inst. of Technol., Georgia)
資料名： Analytical Chemistry  (Analytical Chemistry)
巻： 82  号： 18  ページ： 7542-7549  発行年： 2010年09月15日 
JST資料番号： A0395A  ISSN： 0003-2700  CODEN： ANCHAM  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 面外たわみモードで振動する共振カンチレバーの液相動作は,かなりの規模の流体減衰により制限され,その結果,品質(Q)因子は低くなる。流体減衰を縮小し,液相検出用途における検出限界を改善するため,面内たわみ共振モードのカンチレバー変換器が作製されている。今回,熱励起により面内たわみモードで動作する共振カンチレバーを水中の揮発性有機化合物に対するセンサとして応用した。相補型金属酸化物半導体(CMOS)に適合する簡便なバルク機械加工法を用い,カンチレバーベースの共振センサを作製した。化学感受性高分子ポリイソブチレン(PIB)およびポリエチレン-プロピレン(EPCO)によりカンチレバー表面を被覆し,PIBにより異種被検質7種をスクリーニングし,EPCOにより12種類の被検質を試験した。今回の実験で,濃度1~100ppmの被検質を測定した。水中有機物質について,高分子被覆カンチレバーの推定検出限界はppbレベルであり,面外たわみモードのカンチレバーより明らかに優れていた。面内たわみモードで動作するカンチレバー型質量検知化学センサは,低濃度の水中揮発性有機化合物を検出するための潜在的可能性を持つことが分かった。

シソーラス用語： 横モード ,  *片持梁 ,  検出限界 ,  *水中 ,  *揮発性有機化合物 ,  ポリイソブチレン ,  ポリエチレン-プロピレン ,  被覆材 ,  *化学センサ ,  曲げ振動 ,  流速 ,  励起 ,  アルキルベンゼン ,  芳香族塩素化合物 ,  脂肪族塩素化合物 ,  オレフィン化合物
準シソーラス用語： *カンチレバー ,  熱励起 ,  流速依存性

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  有機化合物の物理分析  (CC03034A)

物質索引 (3件)： m-キシレン ,  クロロベンゼン ,  テトラクロロエチレン

タイトルに関連する用語 (5件)： 横モード ,  共振 ,  カンチレバー ,  液相 ,  化学