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J-GLOBAL ID：201002233311708730   整理番号：10A1192592

RFマグネトロンスパタリングを備えたリン酸カルシウム膜の評価

Characterization of calcium phosphate films prepared by RF magnetron sputtering

著者 (7件)： NARUSHIMA T ,  UEDA K ,  GOTO T ,  KATSUBE T ,  KAWAMURA H ,  OUCHI C ,  IGUCHI Y
資料名： MATERIAL AND DEVICES FOR SMART SYSTEMS II
ページ： 101-106  発行年： 2006年 
JST資料番号： I20060676  ISSN： 0272-9172  ISBN： 1-55899-842-X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (4件)： RF ,  マグネトロンスパタリング ,  リン酸カルシウム ,  評価