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J-GLOBAL ID:201002233734176866   整理番号:10A0618681

テラヘルツ領域におけるサブ波長格子によるシリコン板表面の光反射の低減

Reduction of light reflection at silicon-plate surfaces by means of subwavelength gratings in terahertz region
著者 (5件):
資料名:
巻: 49  号: 15  ページ: 2806  発行年: 2010年05月20日 
JST資料番号: B0026B  ISSN: 1559-128X  CODEN: APOPAI  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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0.3~3.0THzのテラヘルツ周波数領域における光の平面シリコン表面での反射を低減する三角形表面レリーフ格子を調査する。反射防止(AR)層を要求される一次元と二次元(1Dと2D)のサブ波長格子を数値的に得た。AR効果の実験結果は,格子の構造的な変化を引き起こすレーザアブレーションを用いて作製した格子を除いて,数値的に得られたものと良く一致する。1D格子では,TM波に対し90%を超える高い透過率が得られた。アレイ状のマイクロピラミッドから成る2D格子が偏光に依存しないことを実験的に確認した。(翻訳著者抄録)
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分類 (1件):
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光デバイス一般 
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