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J-GLOBAL ID：201002234193251327   整理番号：10A0564920

半導体後方散乱電子検出器により取得したTVスキャン動画像の画像復元

Image Restoration for TV-Scan Moving Images Acquired Through a Semiconductor Backscattered Electron Detector

著者 (2件)： OHO Eisaku (Kogakuin Univ., Tokyo, JPN) ,  SUZUKI Kazuhiko (Kogakuin Univ., Tokyo, JPN)
資料名： Scanning  (Scanning)
巻： 31  号： 6  ページ： 229-235  発行年： 2009年11月 
JST資料番号： D0300B  ISSN： 0161-0457  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 半導体後方散乱電子(BSE)検出器の使用は走査電子顕微鏡(SEM)分野では一般的であるが,周波数特性に不利があり,高速スキャン(すなわち,TVスキャン)においてBSE画像がぼやける問題がある。ここでは,ディジタル画像処理技術を用いてこの画像劣化を修復し,雑音,望ましくない処理アーチファクトや使い易さなどの問題を解決した。従来のマスク処理のような画像処理法は,出力信号の劣化がSEMシステムの振幅応答と位相応答に影響されるために,有効ではない。半導体BSE検出器から得られるSEM信号の特性をもとに,Fourier領域における適切な逆フィルタを設計し,この逆フィルタを特殊な畳込みマスクへと変換し,TVスキャン動BSE画像に対し適用した。この改良したBSE画像は重要な物体を見いだすのに有効である。

シソーラス用語： *走査電子顕微鏡 ,  *画像復元 ,  動画像 ,  テレビジョン画像 ,  半導体検出器 ,  電子散乱 ,  画像ぼけ ,  信号処理 ,  画像処理 ,  フィルタ ,  畳込み
準シソーラス用語： ディジタル信号処理 ,  マスク処理 ,  逆フィルタ

分類 (2件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (6件)： 後方散乱 ,  電子検出器 ,  TV ,  スキャン ,  動画像 ,  画像復元