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J-GLOBAL ID：201002234541422084   整理番号：10A0605954

自己結合圧電AlN輪郭モード共振器をベースにしたVHFチャネル選択MEMSフィルタ

Very high frequency channel-select MEMS filters based on self-coupled piezoelectric AlN contour-mode resonators

著者 (3件)： ZUO Chengjie (Penn Micro and Nano Systems Lab. (PMaNS Lab), Dep. of Electrical and Systems Engineering, Univ. of Pennsylvania ...) ,  SINHA Nipun (Penn Micro and Nano Systems Lab. (PMaNS Lab), Dep. of Electrical and Systems Engineering, Univ. of Pennsylvania ...) ,  PIAZZA Gianluca (Penn Micro and Nano Systems Lab. (PMaNS Lab), Dep. of Electrical and Systems Engineering, Univ. of Pennsylvania ...)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 160  号： 1-2  ページ： 132-140  発行年： 2010年05月 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿は,自己結合圧電窒化アルミニウム(AlN)輪郭モードマイクロエレクトロメカニカル(MEMS)共振器をベースにした単一チップ多重周波数チャネル選択フィルタに関する実験結果を報告した。2ポートのAlN輪郭モード共振器を直列に接続し,同じチップの上に多重周波数(94~271MHz),狭帯域幅(~0.2%),低挿入損失(~2.3dB),高い帯域外阻止(~60dB)と高線形性(IIP3 ~100dBmV)チャネル選択フィルタを実現するために,それらの固有の容量を用いて電気的に結合した。本技術は多重周波数,高性能および小型因子を持つフィルタ設計を可能にし,将来での単一チップ多重帯域再構成可能なラジオ周波数(RF)でのソリューションを可能にする。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *圧電フィルタ ,  MEMS ,  *微小共振器 ,  音響共振器 ,  *窒化アルミニウム ,  *VHF【周波数】 ,  選択 ,  周波数逓倍
準シソーラス用語： チャネル選択 ,  圧電薄膜共振器 ,  周波数多重

分類 (2件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (8件)： 自己 ,  圧電 ,  AlN ,  輪郭 ,  共振器 ,  VHF ,  チャネル選択 ,  MEMS