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J-GLOBAL ID:201002234622382745   整理番号:10A1130368

ガス拡散バリア用途向けのロール・ツー・ロール型大気圧-PECVDで合成した高分子上の平滑な自己相似SiO2型膜

Smooth and Self-Similar SiO2-like Films on Polymers Synthesized in Roll-to-Roll Atmospheric Pressure-PECVD for Gas Diffusion Barrier Applications
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巻:号:ページ: 635-639  発行年: 2010年08月23日 
JST資料番号: W1950A  ISSN: 1612-8850  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)

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