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J-GLOBAL ID:201002234846354976   整理番号:10A1037512

PDMS/PHPS溶液を浸漬被覆することによるPBT基板上へのシリカ膜の合成およびキャラクタリゼーション

Preparation and Characterization of Silica Films on PBT Substrate by Dip Coating with PDMS/PHPS Solution
著者 (4件):
資料名:
巻: 35  号:ページ: 689-692  発行年: 2010年09月 
JST資料番号: L4468A  ISSN: 1382-3469  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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PHPS(ペルヒドロポリシラザン)は,TEOSよりも低温で緻密なシリカ膜が生成することが報告された。しかし,PHPSをプラスチック基板上に被覆すると,熱膨張係数の違いからシリカ膜に亀裂が生じる。筆者らは,PBT基板にPMMAを添加するとこの亀裂がある程度改良されることを見出した。本研究では,PMMAの代わりにPDMS(ポリジメチルシラザン)を用いると亀裂のないシリカ膜が得られることを見出した。PBT基板をPDMS/PHPSのジブチルエーテル溶液に浸漬被覆し,170°Cで0.5h熱処理してシリカ被覆膜を作製した。得られたシリカ膜は表面が滑らかで,厚み160nm,PDMSが50mass%で亀裂フリーであった。膜のVickers硬度は,PDMS含量と共に低下したが,鉛筆硬度は,PMDS含量に拘わらず9H一定であった。
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分類 (3件):
分類
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非金属材料へのセラミック被覆  ,  酸化物薄膜  ,  セラミック・磁器の性質 
引用文献 (6件):
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