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J-GLOBAL ID：201002235109608769   整理番号：10A0963100

超精密工作機械におけるリニアモーター駆動方式と静圧ねじ方式の特性比較評価

Evaluation of Ultra Precision Cutting Machine with Linear Motor or Hydrostatic Lead Screw

著者 (1件)： 朝野浩伸 (不二越 開発本部)
資料名： Nachi Technical Report  (Nachi Technical Report)
巻： 21  号： A1-B3  ページ： A2.1(1),A2.1-A2.6,A2.6(1)  発行年： 2010年09月10日 
JST資料番号： F0439A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ナノメータ位置決め精度を持つレンズ金型加工機用超精密工作機械において,“リニアモーター+油静圧案内”方式と,“回転モーター+油静圧ねじ+油静圧案内”方式について,送り速度ごとに機械精度評価指標である,位置偏差変動幅を実測で評価した結果,前者の方式のほうが,低速側での位置偏差変動幅が大きく不利ではあるが,送り速度による差が小さく,高速では有利であることを示した。また,両方式間の特性差の主要因が,粘性抵抗,ねじ剛性,モーター推力/トルク変動成分の違いによることを示した。今回の試験を通して,3m/minの送り速度で,ナノメータレベルの加工が可能であることを,実測で示した。(著者抄録)

シソーラス用語： *超精密加工 ,  工作機械 ,  金型 ,  レンズ ,  駆動方式 ,  駆動 ,  リニアモータ ,  油圧 ,  静圧 ,  ねじ ,  速度 ,  *送り装置 ,  原動機 ,  電気機械 ,  精度 ,  抵抗 ,  剛性 ,  推力 ,  トルク ,  寸法精度 ,  ナノメータ加工
準シソーラス用語： リニアモーター駆動 ,  送り速度 ,  回転機 ,  機械精度 ,  位置決め精度 ,  粘性抵抗

分類 (1件)： 工作機械要素,ジグ,チャック  (QC01020Z)

引用文献 (3件)：

• 水本 洋: 近未来技術展望「超精密工作機械の位置決め技術について」NACHI-BUSSINESS news、Vol.4 A1、August (2004)
• 朝野浩伸: 超精密工作機械におけるリニアモーター駆動の特性と評価、日本機械学会関東支部 山梨講演会 (2008)
• 金井巨光: 超精密工作機械の位置決め機構の現状、精密工学会秋季大会シンポジウム資料 (2003)

タイトルに関連する用語 (5件)： 超精密工作機械 ,  リニアモーター駆動 ,  静圧 ,  ねじ ,  比較評価