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J-GLOBAL ID：201002235583490086   整理番号：10A1607673

有機発光ダイオード用アノード材料としてパルスDCマグネトロンスパッタリングによる酸化インジウムスズ(ITO)膜の電気的性質と表面的性質

Electrical and surface properties of indium tin oxide (ITO) films by pulsed DC magnetron sputtering for organic light emitting diode as anode material

著者 (6件)： NAM Eunkyoung ,  KANG Young-hun ,  SON Dong-jin ,  JUNG Donggeun ,  HONG Sung-jei ,  KIM Young Sung
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 205  号： Supplement 1  ページ： S129-S132  発行年： 2010年12月25日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究ではパルスDCマグネトロンスパッタリングで作製した酸化インジウムスズ(ITO)膜のアノード材料特性と有機発光ダイオード(OLEDs)のデバイス性能を調べた。蒸着したITO膜の表面と電気的性質を種々の基板温度で調べた。基板温度が増加すると全ての蒸着したITO膜の電気特性は向上した。400°Cで蒸着したITO膜は最良の性質を示し,2.03×10^-4Ωcmの低い抵抗と7.95×10²⁰cm^-3の高いキャリア濃度を示した。蒸着したITO膜のX線光電子分光(XPS)から市販のITO(C-ITO)膜よりも比較的小さな表面仕事関数を示した。400°Cで蒸着したITOアノード膜を持つOLEDデバイスは12.8Vで26702.13cd/m²の優れた輝度を示し,C-ITOアノードを持つOLEDのそれよりも優れていた。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *発光ダイオード ,  アノード ,  *電極材料 ,  *酸化インジウムスズ ,  パルス法 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  スパッタ蒸着 ,  *蒸着膜 ,  *電気的性質 ,  表面性状 ,  *基板温度 ,  基板 ,  電気抵抗率 ,  キャリア密度 ,  仕事関数 ,  輝度
準シソーラス用語： ITO ,  キャリア濃度 ,  表面特性 ,  *有機発光ダイオード

分類 (3件)： 発光素子  (NC03082G) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  その他の無機化合物の電気伝導  (BM03044O)

タイトルに関連する用語 (8件)： 有機発光ダイオード ,  アノード材料 ,  パルス ,  DCマグネトロンスパッタリング ,  酸化インジウムスズ ,  ITO ,  電気的性質 ,  性質