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J-GLOBAL ID：201002235736884828   整理番号：10A0610055

質量検出用途のFBAR-CMOS発振器アレイ

FBAR-CMOS Oscillator Array for Mass-Sensing Applications

著者 (3件)： JOHNSTON Matthew L. (Columbia Univ., NY, USA) ,  KYMISSIS Ioannis (Columbia Univ., NY, USA) ,  SHEPARD Kenneth L. (Columbia Univ., NY, USA)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 10  号： 5-6  ページ： 1042-1047  発行年： 2010年05月 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 薄膜バルク音響共振器(FBAR)は敏感な生物学的および化学的検出用の有効なプラットフォームのひとつであり,その高い動作周波数が水晶微量秤量器よりも数倍の高感度を発揮する。本報告では,質量検出を目的とする,CMOS上にモノリシックに直かに搭載したFBAR発振器アレイについて述べた。CMOS駆動回路とのモノリシック集積構造を利用し,製作上に特別な技巧を用いず,外部結合共鳴の空間的および寄生負荷制約を解消し,高密度なセンサアレイの搭載を実現する。ここに報告したセンサは0.18μm-CMOS機能基板の最表面に設けた6×4アレイに構成され,オフチップFBARセンサと同等な質量感受性をもつ。

シソーラス用語： CMOS構造 ,  MOS集積回路 ,  発振器 ,  アレイ回路 ,  *音響共振器 ,  *センサアレイ ,  センサ ,  半導体チップ ,  高密度実装 ,  微量天秤 ,  計測 ,  *重量測定装置
準シソーラス用語： 質量センサ ,  質量測定

分類 (2件)： 質量,密度,比重の計測法・機器  (AD05030Z) ,  発振回路  (NC05020Y)

タイトルに関連する用語 (6件)： 質量検出 ,  用途 ,  FBAR ,  CMOS ,  発振器 ,  アレイ