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J-GLOBAL ID：201002235758594475   整理番号：10A0858076

2軸圧電マイクロマシンジャイロスコープのための基準振動に関する研究

Research on reference vibration for a two-axis piezoelectric micro-machined gyroscope

著者 (6件)： LU Yipeng (Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN) ,  WU Xiaosheng (Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN) ,  ZHANG Weiping (Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN) ,  CHEN Wenyuan (Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN) ,  CUI Feng (Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN) ,  LIU Wu (Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 20  号： 7  ページ： 075039,1-9  発行年： 2010年07月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ほとんどのMEMSジャイロスコープは梁構造,チューニングフォーク,リング構造などの異なる個別構造を備えた振動ジャイロスコープである。しかしこれらジャイロスコープに対する環境加速度や衝撃の付加は質量の希望しない運動を招き,検出障害の原因となる。本論文では,衝撃に高い耐性をもつ2軸採用角速度をセンシングする単純構造を提案した。質量-ばねシステムとの等価性がないPZTプリズムの複雑化運動をFEMにより解析した。本ジャイロスコープの動作原理を検討し,最終的に有効な分離方式を得た。最適基準振動において,検出電極で発生した共通電圧は他の有効速度量ピークに対応した基準振動時よりも小さくなった。これは回転で発生する電圧比率を増加させ,素子の精度を向上することができた。素子の感度を改善するため,PZTプリズム4×4×3mmという最適構造を発見した。電極における測定とシミュレーション電圧の比較により,製作素子の最適基準振動を発見した。

シソーラス用語： *二軸 ,  *圧電素子 ,  *マイクロマシン ,  *ジャイロスコープ ,  *基準振動 ,  衝撃強さ ,  速度センサ ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  プリズム
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】 ,  角速度センサ ,  耐衝撃性

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  力学  (BA04000D)

タイトルに関連する用語 (6件)： 2軸 ,  圧電 ,  マイクロマシン ,  ジャイロスコープ ,  基準振動 ,  研究