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J-GLOBAL ID：201002235881066270   整理番号：10A0760248

マグネトロンスパッタリングにより作製したポリテトラフルオロエチレン-金属ナノ複合体膜の残留応力

Residual stress in polytetrafluoroethylene-metal nanocomposite films prepared by magnetron sputtering

著者 (8件)： ZAPOROJTCHENKO Vladimir (Chair for Multicomponent Materials, Technische Fakultaet der CAU, Kaiserstrasse 2, D-24143 Kiel, DEU) ,  CHAKRAVADHANULA V.s.k. (Chair for Multicomponent Materials, Technische Fakultaet der CAU, Kaiserstrasse 2, D-24143 Kiel, DEU) ,  FAUPEL Franz (Chair for Multicomponent Materials, Technische Fakultaet der CAU, Kaiserstrasse 2, D-24143 Kiel, DEU) ,  TAMULEVICIUS Sigitas (Inst. of Materials Sci., Kaunas Univ. of Technol., Savanoriu 271, LT-50131 Kaunas, LTU) ,  TAMULEVICIUS Sigitas (Dep. of Physics, Kaunas Univ. of Technol., Studentu 50, LT-3031 Kaunas, LTU) ,  ANDRULEVICIUS Mindaugas (Inst. of Materials Sci., Kaunas Univ. of Technol., Savanoriu 271, LT-50131 Kaunas, LTU) ,  TAMULEVICIENE Asta (Inst. of Materials Sci., Kaunas Univ. of Technol., Savanoriu 271, LT-50131 Kaunas, LTU) ,  AUGULIS Liudvikas (Dep. of Physics, Kaunas Univ. of Technol., Studentu 50, LT-3031 Kaunas, LTU)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 518  号： 21  ページ： 5944-5949  発行年： 2010年08月31日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,双マグネトロンスパッタリングにより作製されたポリテトラフルオロエチレン(PTFE)およびPTFEに基づく銀(Ag)複合体膜の残留応力および熱安定性を評価した。PTFEのスパッタリングにはRFマグネトロンシステム,金属に対してはDCマグネトロンスパッタ源を用いた。シリコン上に堆積したAg/スパッタPTFEの薄いナノ複合体膜(厚さ800から1100nm,Ag濃度3.5から24.5%)は応力(6.24から12.2MPa)を残していることを立証した。残留応力はナノ粒子の濃度に依存した。純粋なスパッタ堆積したPTFE膜は小さな引張応力下にあり,金属ナノ粒子の充填因子が増加すると圧縮応力となり応力は増加した。残留応力はナノ粒子濃度に依存し,熱要因により決定され,温度変動に室温領域でも敏感だった。ナノ複合体-シリコンシステムの熱応答の評価においては,熱膨張係数およびナノ複合体弾性率の濃度による変化を考慮すべきである。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *マグネトロンスパッタリング ,  *ポリテトラフルオロエチレン ,  *ナノ複合材料 ,  *複合膜 ,  *残留応力 ,  熱安定性 ,  熱膨張係数 ,  *弾性係数 ,  Michelson干渉計 ,  透過型電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  X線回折 ,  X線光電子スペクトル ,  高分子有機-無機ハイブリッド ,  ナノ粒子 ,  マトリックス効果
準シソーラス用語： シリコン基板 ,  *銀ナノ粒子 ,  充填率

分類 (3件)： 高分子担体・触媒反応  (CG03030W) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (5件)： マグネトロンスパッタリング ,  作製 ,  ポリテトラフルオロエチレン ,  複合体膜 ,  残留応力