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J-GLOBAL ID：201002236077044066   整理番号：10A0382067

制御された転向角をもつ単結晶ジグザグ状ケイ素ナノワイヤアレイのウエハスケール合成

Wafer-Scale Synthesis of Single-Crystal Zigzag Silicon Nanowire Arrays with Controlled Turning Angles

著者 (5件)： CHEN Huan (Technical Inst. of Physics and Chemistry, Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  WANG Hui (Technical Inst. of Physics and Chemistry, Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  ZHANG Xiao-Hong (Technical Inst. of Physics and Chemistry, Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  LEE Chun-Sing (City Univ. Hong Kong, Hong Kong SAR, CHN) ,  LEE Shuit-Tong (City Univ. Hong Kong, Hong Kong SAR, CHN)
資料名： Nano Letters  (Nano Letters)
巻： 10  号： 3  ページ： 864-868  発行年： 2010年03月 
JST資料番号： W1332A  ISSN： 1530-6984  CODEN： NALEFD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ケイ素(111)面の硝酸銀/フッ化水素溶液を用いるエッチングにおいて,硝酸銀の移動方向の切り替えによりジグザグ構造の単結晶ケイ素ナノワイヤアレイを作製した。ケイ素の結晶配向,温度,エッチング材濃度の調節により転向角150°,125°,90°の3種のジグザグ構造を得た。

シソーラス用語： *ケイ素 ,  *ナノワイヤ ,  アレイ ,  単結晶 ,  *構造 ,  *エッチング ,  フッ化水素 ,  硝酸銀
準シソーラス用語： ケイ素ナノワイヤ ,  *ジグザグ構造

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  固-液界面  (CB12050B) ,  半導体の表面構造  (BK15030A)

タイトルに関連する用語 (7件)： 転向角 ,  単結晶 ,  ジグザグ ,  ケイ素ナノワイヤ ,  アレイ ,  ウエハ ,  スケール