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J-GLOBAL ID:201002236882053128   整理番号:10A0921959

固有周波数の半分近くで静電駆動されるセンサの応答

RESPONSE OF ELECTROSTATICALLY ACTUATED SENSORS NEAR HALF OF THE NATURAL FREQUENCY
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資料名:
巻: 2009  号: Vol.10 Pt.A  ページ: 461-468  発行年: 2010年 
JST資料番号: W2290A  資料種別: 会議録 (C)
発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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