文献

J-GLOBAL ID：201002237272165389   整理番号：10A1135744

水素検出用の光ファイバチップ音響共振器

Optical fiber tip acoustic resonator for hydrogen sensing

著者 (2件)： MA Cheng ,  WANG Anbo
資料名： Optics Letters  (Optics Letters)
巻： 35  号： 12  ページ： 2043  発行年： 2010年06月15日 
JST資料番号： H0690A  ISSN： 0146-9592  CODEN： OPLEDP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標準単一モードファイバチップ上に製作したマイクロスケール音響共振器を水素センサとして実証した。共振器の製作は,標準ファイバの切断と接合,高周波スパッタリング,集束イオンビームパターン形成と蒸着,湿式エッチングを含む。白金のサブマイクロメータ層を,水素露出時の触媒ヒーターとして共振器の振動アームに被覆した。熱は共振器温度を局部的に上昇させて,音響共振周波数シフトを引き起こす。1.7MHzのセンサ共振周波数は1%の水素濃度への露出で1170.4Hzシフトし,センサ感度は0.1%より良いと推定した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 水素 ,  検出 ,  *光ファイバ ,  チップ ,  *音響共振器 ,  単一モードファイバ ,  ガスセンサ ,  切断 ,  接合 ,  RFスパッタリング ,  集束イオンビーム ,  パターン形成 ,  蒸着 ,  エッチング ,  白金触媒 ,  加熱器 ,  アーム ,  被覆層 ,  温度 ,  周波数シフト ,  共振周波数 ,  感度 ,  ウェットエッチング
準シソーラス用語： マイクロスケール ,  高周波スパッタリング ,  湿式エッチング ,  水素センサ

分類 (2件)： 音響変換器,その他の機器  (BB03060N) ,  光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (3件)： 水素 ,  光ファイバ ,  音響共振器