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J-GLOBAL ID：201002237389279520   整理番号：10A0270816

微小固体酸化物燃料電池応用のための熱機械的に安定なYSZ膜の電気的特性評価

Electrical characterization of thermomechanically stable YSZ membranes for micro solid oxide fuel cells applications

著者 (10件)： GARBAYO I. (CNM-IMB (CSIC), National Inst. of Microelectronics, CSIC, Campus UAB, 08193 Bellaterra, Barcelona, ESP) ,  TARANCON A. (CNM-IMB (CSIC), National Inst. of Microelectronics, CSIC, Campus UAB, 08193 Bellaterra, Barcelona, ESP) ,  TARANCON A. (IREC, Catalonia Inst. for Energy Res., Dept of Advanced Materials for Energy Applications, Josep Pla 2, B2, PB ...) ,  SANTISO J. (CIN2, CSIC/ICN, Res. Center in Nanoscience and Nanotechnology, CSIC, Campus UAB, 08193 Bellaterra, Barcelona, ESP) ,  PEIRO F. (MIND-IN2UB, Electronics Dep., Univ. of Barcelona, c/Marti i Franques 1, 08028 Barcelona, Catalonia, ESP) ,  ALARCON-LLADO E. (Inst. Jaume Almera (CSIC), c/Lluis Sole i Sabaris s.n., 08028Barcelona, ESP) ,  CAVALLARO A. (CIN2, CSIC/ICN, Res. Center in Nanoscience and Nanotechnology, CSIC, Campus UAB, 08193 Bellaterra, Barcelona, ESP) ,  GRACIA I. (CNM-IMB (CSIC), National Inst. of Microelectronics, CSIC, Campus UAB, 08193 Bellaterra, Barcelona, ESP) ,  CANE C. (CNM-IMB (CSIC), National Inst. of Microelectronics, CSIC, Campus UAB, 08193 Bellaterra, Barcelona, ESP) ,  SABATE Neus (CNM-IMB (CSIC), National Inst. of Microelectronics, CSIC, Campus UAB, 08193 Bellaterra, Barcelona, ESP)
資料名： Solid State Ionics  (Solid State Ionics)
巻： 181  号： 5-7  ページ： 322-331  発行年： 2010年03月11日 
JST資料番号： B0096B  ISSN： 0167-2738  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微小固体酸化物燃料電池応用のためシリコン系微小デバイスを開発する目的でイットリア安定化ジルコニア自立膜をパルスレーザ蒸着法によりSi/SiO₂/Si₃N₄構造上に製造した。作業条件下でのそれらの機械的安定性をこの膜に熱サイクリングを加えて満足に評価した。蒸着温度400~700°Cの場合700°Cの作業温度で機械的に安定な膜が得られた。X線微小回折により測定した熱機械挙動は,蒸着直後及び蒸着後焼なまし膜と比べ,TEM解析から温度による微細構造の進化と相関した。イットリア安定化ジルコニア薄膜及び膜の両方の電気的性質を直流伝導率及びインピーダンススペクトルによりそれぞれ調べた。バルク及び加圧膜でほぼ一桁の差を測定したが,YSZ膜ではバルクに近い伝導率を観測した。600°Cで蒸着し同温度で2.5時間焼なましした240nm厚YSZ膜の場合450°C以下の温度で0.15Ωcm²の面積比抵抗の値を測定した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： セラミック ,  酸化イットリウム ,  酸化ジルコニウム ,  *セラミック膜 ,  *固体酸化物燃料電池 ,  *キャラクタリゼーション ,  レーザ蒸着 ,  ケイ素 ,  酸化ケイ素 ,  窒化ケイ素 ,  固体素子 ,  膜 ,  熱サイクル ,  安定性 ,  X線回折 ,  透過型電子顕微鏡 ,  電気伝導率 ,  インピーダンススペクトル ,  パルスレーザ蒸着
準シソーラス用語： *YSZ【セラミック】 ,  自立膜 ,  熱サイクリング ,  微小デバイス

分類 (2件)： 燃料電池  (YB04040V) ,  電気化学一般  (CB07010N)

タイトルに関連する用語 (6件)： 微小 ,  固体酸化物燃料電池 ,  応用 ,  YSZ ,  電気的特性 ,  評価