文献

J-GLOBAL ID：201002237575654358   整理番号：10A1193250

AFMによる高アスペクト比ミクロ構造面の計測

Measurement of a high aspect ratio micro-structured surface by an AFM

著者 (3件)： AOKI J ,  GAO W ,  KIYONO S
資料名： MEASURE AND QUALITY CONTROL IN PRODUCTION
ページ： 561-567  発行年： 2004年 
JST資料番号： I20040664  ISSN： 0083-5560  ISBN： 3-18-091860-8  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (4件)： AFM ,  高アスペクト比 ,  ミクロ構造 ,  計測