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J-GLOBAL ID：201002237642409886   整理番号：10A0858072

フローフォーカシングのためのマイクロメータガラスノズル

Micrometer glass nozzles for flow focusing

著者 (4件)： MONTANERO J M (Univ. Extremadura, Badajoz, ESP) ,  GANAN-CALVO A M (Univ. Seville, Sevilla, ESP) ,  ACERO A J (Univ. Extremadura, Badajoz, ESP) ,  VEGA E J (Univ. Extremadura, Badajoz, ESP)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 20  号： 7  ページ： 075035,1-10  発行年： 2010年07月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： FF(フローフォーカシング)法はジェッティングモードにおける連続液滴生成技術である。ごく近年,共フローイングガス流作用によるノズル外での傾斜液体メニスカス形成が報告されたが,筆者らの前研究結果はこの手法において高精度形状ノズルが必要となることを示した。本論文では,フレーム形状ガラスマイクロノズルを用いた毛細管FFのための新しい構成を詳述した。従来のPO(平板オリフィス)と比べた本ノズルの利点は,1)マイクロメータスケールでもその平滑性が大きい,2)数十ミクロン領域のネック部直径を有するノズルが製作可能,3)PO構成で必要とする量よりも極めて少ないガスフロー量が可能。定量特性評価のために,透明材料毛細管の内部に形成した3D形状マイクロノズルを測定する非破壊法を提案した。本手法は光学画像化と先進型画像処理技術の組み合わせに基づいている。

シソーラス用語： 流量制御 ,  *微細加工 ,  *ガラス管 ,  ノズル ,  毛細管 ,  平滑度 ,  首 ,  定量的分析 ,  キャラクタリゼーション ,  非破壊測定
準シソーラス用語： ネック ,  *フローコントロール ,  *ミクロノズル ,  定量的解析 ,  特性評価 ,  平滑性

分類 (2件)： 噴流  (BC02080F) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： フロー ,  フォーカシング