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J-GLOBAL ID：201002237680432611   整理番号：10A0466834

角度測定のためのヘテロダイン干渉計

A heterodyne interferometer for angle metrology

著者 (4件)： HAHN Inseob (Jet Propulsion Lab., California Inst. of Technol., Pasadena, California 91109, USA) ,  WEILERT M. (Jet Propulsion Lab., California Inst. of Technol., Pasadena, California 91109, USA) ,  WANG X. (Jet Propulsion Lab., California Inst. of Technol., Pasadena, California 91109, USA) ,  GOULLIOUD R. (Jet Propulsion Lab., California Inst. of Technol., Pasadena, California 91109, USA)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 81  号： 4  ページ： 045103  発行年： 2010年04月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ヘテロダイン干渉計を用いた,小型で高分解能な角度測定装置を開発した。共通経路ヘテロダイン干渉計による角度計測は,反射ターゲット表面の変位の測定に用いられる。干渉計の設定においては,ターゲット表面上の4領域からのレーザ反射光を使う。ターゲット表面領域の相対変位測定から,測定ビームの伝播方向に垂直な面内の2つの直交軸まわりの角度回転を同時に決定することができた。平面鏡のピッチ角とヨー角測定が行われる望遠鏡のトラッキングシステムに対するテストベッドに,この装置を用いた。作動距離1mにおける装置の角度ノイズ測定では,1Hzにおいて0.1nrad/Hzが得られた。平面鏡に用いた場合,装置の動作範囲と非線形性は,それぞれ,約±0.15mrad,および,3μrad rmsであった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *角度測定 ,  *ヘテロダイン受信 ,  *干渉計 ,  変位測定 ,  表面 ,  角度 ,  トラッキング装置 ,  望遠鏡
準シソーラス用語： ピッチ角度 ,  ヨー角度 ,  トラッキングシステム

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (2件)： 角度測定 ,  ヘテロダイン干渉計