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J-GLOBAL ID：201002238030548069   整理番号：10A0830156

高性能AFMプローブ式微小書込みプロセスの研究

Study of a High Performance AFM Probe-Based Microscribing Process

著者 (3件)： BOURNE Keith (Univ. Illinois at Urbana-Champaign, IL) ,  KAPOOR Shiv G. (Univ. Illinois at Urbana-Champaign, IL) ,  DEVOR Richard E. (Univ. Illinois at Urbana-Champaign, IL)
資料名： Journal of Manufacturing Science and Engineering  (Journal of Manufacturing Science and Engineering)
巻： 132  号： 3  ページ： 030906.1-030906.10  発行年： 2010年06月 
JST資料番号： C0657A  ISSN： 1087-1357  CODEN： JMSEFK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微小工作機械(mMT)とAFMプローブを組合せた生産性の高い微小書込み技術を開発した。従来のレーザ書込機などはプロセスが複雑で高価である。AFMプローブをホルダに固定して,mMT移動台上の工作物に接触させ,共焦点レーザ変位センサを用いて,書き込み深さを測定する。移動台には手動マイクロステージを設け,書込み深さの微調整を行う。工具荷重は測定用片持ち梁のたわみで測定し,必要な荷重はたわみ100nmで得られる。AFMプローブを用いて,4.0~3.8mmのパスカット,連続湾曲カットなどの書込み実験を行ない,溝形状,工具摩耗,切粉形状などを調べた。深さ0.29μmで延長82mmの書込みが可能であり,高速,高荷重,低AFMプローブ取付け角の条件が良い。

シソーラス用語： *微細加工 ,  プローブ ,  実証実験 ,  多軸工作機械 ,  切り屑 ,  工具摩耗 ,  加工力 ,  深さ
準シソーラス用語： AFM【顕微鏡】 ,  溝形状 ,  高速加工 ,  書込装置

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 高性能 ,  AFM ,  プローブ ,  微小 ,  書込み ,  プロセス ,  研究