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J-GLOBAL ID：201002238150810034   整理番号：10A0854334

PCB水準の光相互接続における面外結合用の埋込み型微小鏡挿入の設計と作製

Design and fabrication of embedded micro-mirror inserts for out-of-plane coupling in PCB-level optical interconnections

著者 (6件)： VAN ERPS Juergen (Vrije Universiteit Brussel, Brussel, BEL) ,  HENDRICKX Nina (Ghent Univ., Zwijnaarde, BEL) ,  BOSMAN Erwin (Ghent Univ., Zwijnaarde, BEL) ,  VAN DAELE Peter (Ghent Univ., Zwijnaarde, BEL) ,  DEBAES Christof (Vrije Universiteit Brussel, Brussel, BEL) ,  THIENPONT Hugo (Vrije Universiteit Brussel, Brussel, BEL)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 7716  ページ： 77161Q.1-77161Q.10  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プリント基板(PCB)へ光学系を集積するための幾つかの方法が提案されている。本論文では,光PCBに金属化離散微小鏡を埋込んだ混成結合手法を示した。埋込んだ鏡は環境汚染から保護されるのでロバストであり,加工は比較的単純である。非シーケンシャル光線追跡法により微小鏡挿入を設計し,深い陽子描画によりプロトタイプを作製した。微小鏡は標準のピックアンドプレイス法で光学層に挿入でき,高いスループットが得られ,整列精度は数μmである。湾曲微小鏡を用いて得た初期結果を論じた。

シソーラス用語： *プリント基板 ,  *相互接続 ,  *反射鏡 ,  MEMS ,  光線追跡 ,  マイクロマシニング ,  陽子ビーム
準シソーラス用語： *光相互接続 ,  *微小鏡 ,  マイクロミラー

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： PCB ,  水準 ,  光相互接続 ,  埋込み ,  微小鏡 ,  設計 ,  作製