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J-GLOBAL ID：201002238584546793   整理番号：10A1141208

種々の基板上で生成したFeS₂膜の結晶学的挙動

Crystallographic behavior of FeS₂ films formed on different substrates

著者 (2件)： HUANG L.y. (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Zhejiang Univ., Zheda Road, Hangzhou 310027, CHN) ,  MENG L. (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Zhejiang Univ., Zheda Road, Hangzhou 310027, CHN)
資料名： Materials Chemistry and Physics  (Materials Chemistry and Physics)
巻： 124  号： 1  ページ： 413-416  発行年： 2010年11月01日 
JST資料番号： E0934A  ISSN： 0254-0584  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マグネトロンスパッタリング鉄膜の硫化アニーリングにより,非晶質ガラス,単結晶Si(100),多結晶Al,微結晶TiO₂の各膜基板上で,FeS₂多結晶膜を調製した。膜の結晶微細構造と配向分布を調べた。Si(100)とガラス基板で生成したFeS₂膜は比較的細かく均一な粒子と,膜と基板界面における小さな格子歪を有するが,わずかしか優先配向してなかった。AlとTiO₂基板で生成したFeS₂膜は比較的不均一な微細構造,界面における大きな格子歪,(200)と(220)優先配向を有した。界面の高歪エネルギーが,膜の優先配向と不均一微細構造の原因である。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *硫化鉄 ,  *製膜 ,  マグネトロンスパッタリング ,  *鉄 ,  *蒸着膜 ,  *硫化 ,  *アニーリング【現象】 ,  基板 ,  ガラス ,  単結晶 ,  ケイ素 ,  多結晶 ,  アルミニウム ,  微結晶 ,  酸化チタン ,  微細構造 ,  格子歪 ,  優先配向 ,  歪エネルギー
準シソーラス用語： 二酸化チタン

分類 (3件)： 塩  (CD01050V) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  金属酸化物及び金属カルコゲン化物の結晶構造  (BK07020Y)

タイトルに関連する用語 (2件)： 結晶学 ,  挙動