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J-GLOBAL ID：201002238627714520   整理番号：10A0504210

無機ナノ構造組立におけるプラズマ援助アプローチ

Plasma-Assisted Approaches in Inorganic Nanostructure Fabrication

著者 (6件)： ZHENG Jie (Peking Univ., Beijing, CHN) ,  YANG Rong (Peking Univ., Beijing, CHN) ,  XIE Lei (Peking Univ., Beijing, CHN) ,  QU Jianglan (Peking Univ., Beijing, CHN) ,  LIU Yang (Peking Univ., Beijing, CHN) ,  LI Xingguo (Peking Univ., Beijing, CHN)
資料名： Advanced Materials  (Advanced Materials)
巻： 22  号： 13  ページ： 1451-1473  発行年： 2010年04月06日 
JST資料番号： W0001A  ISSN： 0935-9648  CODEN： ADVMEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラズマによる無機の零次元および一次元ナノ構造のボトムアップ作製法について最近の研究を総説した。A.序論 A1.プラズマの紹介 A2.ナノ構造作製におけるプラズマ援助法の利点 A3.ナノ構造作製のためのプラズマ援助法の分類 B.プラズマ増強化学蒸着によるナノ構造作製 B1.カーボンナノチューブ(カーボンナノチューブの電気的誘導配向;非晶質炭素除去および関連するプラズマ化学;プラズマ増強化学蒸着による単層カーボンナノチューブ) B2.ケイ素およびゲルマニウム自立ナノ粒子(プラズマ増強化学蒸着プロセスにおけるケイ素量子ドットのサイズ制御;粒子分散および結晶性;表面不動態化およびドーピング) B3.プラズマ増強化学蒸着により調製された他の無機材料のナノ構造 C.液体/固体供給を用いる熱プラズマによるナノ構造作製 C1.熱プラズマシンタリングにより作製されたナノ構造 C2.熱プラズマ蒸発凝縮により作製されたナノ構造(粒径;NH₃アークプラズマにより調製された空洞球状ナノ粒子;水素プラズマ金属反応により調製された高触媒活性の希土類元素ヒドリドナノ粒子) D.固相のプラズマ処理により調製したナノ構造 D1.酸素プラズマ処理による金属酸化物ナノ構造 D2.プラズマエッチング機構により調製したナノ構造 D3.金属職場尾を用いる固体ケイ素のプラズマ処理により調製されたケイ素系ナノワイヤ E.まとめ及び展望 E1.文献総説のまとめ。

シソーラス用語： *無機化合物 ,  *ナノ構造 ,  プラズマ ,  *プラズマ化学反応 ,  プラズマCVD ,  ナノ粒子 ,  ナノロッド ,  カーボンナノチューブ ,  結晶方位 ,  非晶質 ,  ケイ素 ,  ゲルマニウム
準シソーラス用語： プラズマ強化化学蒸着 ,  汚れ除去 ,  結晶配向

分類 (4件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  無機化合物一般及び元素  (CD01010D) ,  結晶成長技術・装置  (BK13020B) ,  原子・分子のクラスタ  (BH09030O)

タイトルに関連する用語 (4件)： ナノ構造 ,  組立 ,  プラズマ ,  援助