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J-GLOBAL ID：201002238826966334   整理番号：10A1529999

チタン基板上にスパッタ蒸着した低摩擦SiC-2.6質量%Ti膜の摩耗剥離に及ぼす中間層の影響

Effect of intermediate layer on wear-delamination life of low-frictional SiC-2.6mass%Ti film sputter-deposited on titanium substrate

著者 (3件)： ZHENG Jin-hua ,  KATO Masahiko ,  NAKASA Keijiro
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 205  号： 7  ページ： 2532-2537  発行年： 2010年12月25日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非常に低い約0.05の摩擦係数を有するSiC-2.6%Ti膜の早期摩耗剥離を防止するためにTi基板上に五種類の中間層(I-Ls)をスパッタ蒸着し,ボールオンディスク型摩耗試験機を使用して試験した。Ti,SiO₂,およびSi(Ti)のI-Lsのスパッタ蒸着はI-Lの厚さが0.4μm以下の場合にはSiC2.6%Tiの上部膜の剥離寿命を増加し,TiO₂I-Lは剥離寿命を低下させる。SiC-3.6%TiのI-Lは,I-Lの厚さが増加すると上部膜の剥離寿命が増加し,I-Lの厚さが0.2μm以上の場合にはTi,SiO₂,およびSi(Ti)のI-Lsより長くなる。剥離は,摩耗が上部膜/I-L界面に到達する前は,TiI-Lの場合には上部膜/I-L界面に沿って発生し,SiO₂,Si(Ti)O₂,およびSiC-3.6%TiI-Lsの場合にはI-L/基板界面に沿って発生する。I-Lの存在による剥離寿命の増加は,上部膜/I-LとI-L/基板境界の両者の界面強度の増加による。SiC-3.6%Ti I-Lについては,残留圧縮応力の発生が剥離寿命の増加の主な原因と思われる。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *チタン ,  基板 ,  *スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  *炭化ケイ素 ,  *摩耗 ,  *剥離 ,  摩擦係数 ,  寿命 ,  多層構造 ,  強度 ,  残留応力 ,  圧縮応力 ,  蒸着膜 ,  *サーメット ,  *セラミック被覆 ,  界面強度 ,  中間層 ,  *機械的性質 ,  *性質

分類 (1件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (6件)： チタン ,  スパッタ蒸着 ,  低摩擦 ,  質量 ,  摩耗 ,  中間層